Voor toepasiingen in uiterst schone en hete omgevingen garanderen de vacuümbestendige optische vezels en aansluitflenzen een lange levensduur en behoud van het vacuüm.

• Leksnelheid van max. 1x10-10 Pa*m3/s
• Hittebestendig tot 200 °C
• Reinigingsmiddelenbestendige fluorhars of roestvrijstalen mantel

Voor waferdetectie in niet-vacuüm omgevingen zie  E32 speciale toepassing.