Naarmate de structuren van apparatuur complexer worden, is een zeer nauwkeurige meting van de wafers en chips voor het apparaat vereist. Nauwkeurige meting van wafers en chips is essentieel voor een hoogwaardige halfgeleiderproductie.
Toepassing: hoogtemeting van wafers en chips
Vervormingsmetingen van wafers kunnen een uitdaging zijn. Problemen kunnen worden veroorzaakt door verschillende factoren, zoals spanningsbelasting tijdens de verwerking of temperatuurvariaties. Naarmate wafers dunner worden, treedt meer vervorming op tijdens waferverwerking. Het onvermogen om het object nauwkeurig te meten kan een negatieve invloed hebben op de prestaties en opbrengst van halfgeleiderapparatuur.
Onze oplossing: contactloze, uiterst nauwkeurige afstandsmetingtechnologie
OMRONs confocale lasermeettechnologieën zijn geschikt voor de uitdagingen bij het vervormen van wafers. Ze bieden contactloze methoden om de wafer te meten en tegelijkertijd een hoge herhaalbaarheid te bereiken.
De unieke confocale afstandssensor van OMRON met wit licht biedt metingen met een hogere resolutie van hoekige of gebogen en glanzende oppervlakken dan conventionele laserafstandssensoren.
Toepassing: afstelling van z-as bij het verbinden van chips
Het meten van de hoogte van chips kan lastig zijn. Met de komst van apparaten zoals 3D-IC's, moeten chips van verschillende hoogten en materialen nauwkeurig worden gemeten. Het onvermogen om het object nauwkeurig te meten heeft ook een aanzienlijke invloed op de hoogteafstelling van de z-as tijdens het verbindingsproces.
Onze oplossing: contactloze, uiterst nauwkeurige afstandsmetingtechnologie
De confocale lasermeettechnologieën van OMRON zijn geschikt voor uitdagingen met betrekking tot hoogteafstelling van de z-as. Ze bieden contactloze methoden om de chips met grote herhaalbaarheid te meten.
OMRONs unieke confocale afstandssensor met wit licht biedt metingen met een hogere resolutie van hoekige of gebogen en glanzende oppervlakken dan conventionele laserafstandssensoren.
Technologieën mogelijk maken
Principe van confocaal wit licht
Met de introductie van de ZW-serie is OMRON een van de eerste in de branche die het principe van confocaal wit licht toepast. Dit principe maakt een stabiele bewegende meting van objecten mogelijk onder verschillende omstandigheden, zoals ruwe, gebogen, hellende of smalle oppervlakken.
Verwante producten
Contactloze, confocale, witte LED-meetsensor
Strikte kwaliteitscontrole, productiesnelheid en inspectie van uiterlijk nemen voortdurend toe. Om aan deze eisen te voldoen, zijn stabiele metingen tijdens beweging voor kwaliteitsinspectie vereist zonder dat dit ten koste gaat van de productiesnelheid. De ZW-serie benut de voordelen van het confocale principe van wit licht en voldoet aan deze eisen voor vrijwel elk type materiaal (glas, metaal, kunststof, enz.) en elke vorm (rond, vlak, ongelijk, enz.).
Wilt u meer weten?
Neem contact op met onze experts
Neem contact met mij op Nauwkeurige hoogtemeting
Dank u wel voor het insturen van uw verzoek. Wij informeren u zo snel als mogelijk.
Wij ondervinden technische problemen. Uw formulierinzending is niet gelukt. Onze verontschuldigingen hiervoor, probeer het later nog een keer. Details: [details]
Download