Aanpassing aan veranderingen in de omgeving van de productielocatie en milieuvriendelijke materialen
Naarmate de vraag naar productiviteit en kwaliteit bij de productie van halfgeleiders toeneemt, wordt een nauwkeurige temperatuurregeling op het waferoppervlak cruciaal voor de prestaties van de apparatuur. Onze geavanceerde technologie op het gebied van temperatuurregelaars, die in de loop van vele jaren is ontwikkeld, zorgt voor een gelijkmatige temperatuurregeling op meerdere punten op het waferoppervlak.
Toepassing: temperatuurregelaars waferoppervlak
De omgeving is anders op de plaats van bestemming van de apparatuur en PID-aanpassingen moeten ter plaatse opnieuw worden uitgevoerd. PID-aanpassingen zijn vereist voor elk type werkstuk, en dat maakt omschakelen tijdrovend.
Onze oplossing: modulaire geavanceerde temperatuurregelaar
Onze NX-TC temperatuurregelunit neemt de lastige inbedrijfstelling en afstellingswerkzaamheden uit handen van productielocaties. De unit registreert veranderingen in de omstandigheden die van invloed kunnen zijn op de kwaliteit, net zoals een bekwame werknemer dat zou doen, en voert automatisch PID-aanpassingen uit zodat de temperatuurregeling voortdurend de optimale omstandigheden handhaaft.
Met de 'adaptieve besturingstechnologie' die in dit product is ingebouwd, worden de optimale PID-waarden automatisch berekend voor zowel het moment van opstarten als voor een stabiele productie. Bovendien is het mogelijk om de status van de temperatuurregeling van de machine te bewaken om de PID-waarde automatisch aan te passen voor het verkrijgen van de optimale temperatuurregeling in reactie op veranderingen zoals als werkstukaanpassingen en machinewijzigingen.
Onderdrukt automatisch temperatuurvariaties die worden veroorzaakt door routinestoringen
Biedt een stabiele automatische regeling tegen te verwachten temperatuurvariaties. Draagt bij aan kwaliteitsverbetering en helpt de productiecapaciteit te verhogen door de wachttijd tot temperatuurstabilisatie te verkorten.
Toepassing: nauwkeurige temperatuurregeling bij storingen
Door de geavanceerde verpakking en hoge integratie van halfgeleiders is een strikte temperatuurregeling noodzakelijk geworden. Routinestoringen veroorzaken temperatuurvariaties die van invloed zijn op de kwaliteit. De wachttijd totdat de temperatuurvariaties, veroorzaakt door routinestoringen, stabiliseren staat verbeteringen in de productiecapaciteit in de weg.
Onze oplossing: geavanceerde temperatuurregeling
De storingsonderdrukkingsfunctie is een regelfunctie die automatisch temperatuurschommelingen onderdrukt die door verwachte storingen kunnen worden veroorzaakt. Triggersignalen die in de temperatuurregelaar worden ingevoerd voordat deze verstoringen optreden, schakelen de functie in waardoor de gemanipuleerde variabele (MV) wordt verhoogd of verlaagd. De automatische afstemming op storingen past automatisch de FF (feedforward) MV, FF-bedrijfstijd en FF-wachttijd aan.
NX-HTC en NX-TC temperatuurregelunits zorgen voor een stabiele automatische regeling tegen verwachte temperatuurvariaties. Deze worden bijvoorbeeld veroorzaakt door het binnendringen van buitenlucht bij het openen en sluiten van deuren. NX-HTC en NX-TC dragen bij aan kwaliteitsverbetering en helpen de productiecapaciteit te verhogen door de wachttijd tot temperatuurstabilisatie te verkorten.
Technologieën mogelijk maken
Verwante producten
Informatie en productiviteit in een miniatuurcontroller
De modulaire machinecontrollers van de NX1-serie bieden functies voor besturing, motion en informatie. De NX1 vindt zijn weg in productie-omgevingen en in de IT-wereld, minimaliseert de engineering en onderhoud en onderdrukt middleware.
De nieuwe generatie controllers
De NX-TC-serie controllers van de volgende generatie zijn ontworpen voor optimale en automatische temperatuurregeling zonder menselijke tussenkomst. NX-HTC gaat een stap verder om afwijkingen als gevolg van onjuiste machine-assemblage/onjuist onderhoud te voorkomen en het aantal manuren dat wordt besteed aan het analyseren en oplossen van afwijkingen te verminderen.
Prestaties en bruikbaarheid voor machinebesturing
In de moderne machinebesturing is een systeembrede synchronisatie van motion-assen met microseconde nauwkeurigheid vereist. Het NX I/O-systeem biedt deze nauwkeurigheid en herhaalbaarheid voor een breed scala aan in- en uitgangen. Het buitengewoon snelle interne bussysteem is gesynchroniseerd met de gedistribueerde klok van het EtherCAT-netwerk, voor een deterministische I/O-werking over het gehele systeem.
Wilt u meer weten?
Neem contact op met onze experts
Neem contact met mij op Temperatuurregelaar voor wafers
Dank u wel voor het insturen van uw verzoek. Wij informeren u zo snel als mogelijk.
Wij ondervinden technische problemen. Uw formulierinzending is niet gelukt. Onze verontschuldigingen hiervoor, probeer het later nog een keer. Details: [details]
Download