Naarmate de procestool geavanceerder en gecompliceerder wordt, zijn vezelsensoren met stabiele detectie en eenvoudige installatie vereist. Wij bieden een breed scala aan producten met specifieke kenmerken die geschikt zijn voor waferdetectie in de halfgeleiderproductie.
Toepassing: Wafer Mapping
Bij het oppakken van wafers met een robotgrijper moeten het aantal en de positie van de wafers dat in de FOUP is ingesteld, worden gedetecteerd om te voorkomen dat de doorvoer wordt verminderd door onnodige bewegingen. Er bestaat ook een risico op beschadiging van de wafer wanneer de robotgrijper wordt geplaatst, vanwege een smalle waferafstand of doorbuiging van de wafer.
Onze oplossing: vezeloptiek specifiek voor waferdetectie
OMRON biedt sensoren met speciale kenmerken en een kop met een dun profiel die eenvoudig op robotarmen kunnen worden gemonteerd voor halfgeleiderproductietoepassingen.
OMRON biedt ondersteuning voor waferoverdracht in de halfgeleiderproductie door gebruik te maken van de functies van deze sensor om het aantal en de positie van de wafers in de FOUP te detecteren met een retro-reflecterende sensor.
Technologieën mogelijk maken
Sensoren speciaal ontworpen voor betrouwbare detectie van wafers
Vezelsensoren voor wafermapping hebben een dun profiel en zijn eenvoudig te monteren op robotarmen. Ook optische as-aanpassing is eenvoudig. Vezelsensoren voor wafers detecteren wafers op betrouwbare wijze, zelfs als ze dicht op elkaar zijn gestapeld.
Verwante producten
Optische vezels voor precisiedetectie
Uiterste precisie bij het ontwerp en de productie van onze vezels en focuslenzen garandeert uiterst nauwkeurige bundels en spots voor de detectie van de allerkleinste objecten en hoogteverschillen van minder dan 100 µm.
Krachtige digitale vezelversterker
DE E3NX-FA versterker is de beste keuze voor de meest uitdagende vezeltoepassingen wanneer het gaat om grote detectieafstanden, detectie van minuscule objecten en processen met hoge snelheid.
Slimme vezelversterkers
2-kanaals versterker vermindert de benodigde installatieruimte met de helft. Kleinere apparatuur en bedieningspanelen
Smart Fiber Amplifier
De meest kostenefficiënte oplossing voor stabiele detectie
Wilt u meer weten?
Neem contact op met onze experts
Neem contact met mij op Wafer Mapping
Dank u wel voor het insturen van uw verzoek. Wij informeren u zo snel als mogelijk.
Wij ondervinden technische problemen. Uw formulierinzending is niet gelukt. Onze verontschuldigingen hiervoor, probeer het later nog een keer. Details: [details]
Download